|
 |
科研成果 |
|
|
|
 |
研究室 |
|
|
|
|
|
重点实验室 |
|
|
|
|
|
|
|
|
具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件)
| 专利名称: |
|
| 英文名称: |
|
| 专利类别: |
发明专利
|
| 申请号: |
98124283.9
|
| 申请日期: |
1998-11-28
|
| 授权日期: |
2003-2-12
|
| 专利号: |
Zl98124283.9
|
| 第一发明人: |
宋世庚
|
| 其它发明人: |
陶明德;吴关炎;丛秀云
|
| 国外申请日期: |
|
| 国外申请方式: |
|
| 专利授权日期: |
2003-2-12
|
| 缴费情况: |
|
| 实施情况: |
|
| 专利证书号: |
|
| 专利摘要: |
本发明涉及一种具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器（Ｆ元件），该元件是用单面抛光的Ｎ型Ｓｉ片制作，ＳＩ片电阻率在４０到２００Ωｃｍ之间，其流程包括：氧化、光刻、硼预淀积、硼再分布和氧化、光刻、磷预淀积、磷再分布和氧化、刻引线孔、蒸铝、反刻铝、铝合金化、
|
| 其它备注: |
|
|
|
|
