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科研成果 |
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研究室 |
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重点实验室 |
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薄膜制备的喷雾热分解方法
| 专利名称: |
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| 英文名称: |
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| 专利类别: |
发明专利
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| 申请号: |
98119488.5
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| 申请日期: |
1998-10-14
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| 授权日期: |
2001-11-7
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| 专利号: |
Zl98119488.5
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| 第一发明人: |
宋世庚
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| 其它发明人: |
武光明
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| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 专利授权日期: |
2001-11-7
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| 缴费情况: |
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| 实施情况: |
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| 专利证书号: |
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| 专利摘要: |
本发明涉及一种薄膜制备的喷雾热分解方法，该方法首先配制所需金属盐溶液，然后经过压缩空气雾化器，使溶液雾化，在载流气体的带动下喷进放置有被加热基板的容器中，雾体经过烘烤后挥发去溶剂并进一步分解沉积在基板上成膜。该方法易于控制化学计量比，具有良好的取向性和外延
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| 其它备注: |
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